包含：硅烷/氮氣混合氣；硅烷/氫氣混合氣；硅烷/氦氣混合氣；硅烷/氬氣混合氣

產品說明：

1、硅烷/氮氣混合氣，化學式：SiH4/N2 Mix，產品規格：5N

2、硅烷/氫氣混合氣，化學式：SiH4/H2 Mix，產品規格：5N

3、硅烷/氦氣混合氣，化學式：SiH4/He Mix，產品規格：5N

4、硅烷/氬氣混合氣，化學式：SiH4/Ar Mix，產品規格：5N

包裝容器：高壓鋼瓶容器

應用：半導體行業